盛美上海1月10日发布投资者关系活动记录表，公司于2022年12月31日接受203家机构单位调研，机构类型为QFII、保险公司、其他、基金公司、海外机构、证券公司、阳光私募机构。

　　公司领导对新产品PECVD进行了简单介绍，并就投资者关心的问题进行了回答。 问答环节

　　问：公司表示在布局上和友商的设备有所不同，可以展开说一下吗？其次请问公司这个PECVD的设备镀的膜材质和友商的设备有什么区别吗？

　　答：首先第一点，该设备的layout和友商设备不同，第二点，公司设备的差异化腔体设计有自主知识产权申请保护，这样可以保证薄膜的良好的均匀性，应力可控，较少的颗粒。

　　问：请问1-3个腔体和4-5分别针对的是薄膜和厚膜的沉积，这能大致对应到具体的工艺环节上吗？1-3针对哪个环节，4-5针对哪个环节？

　　答：PECVD有些工序时间长，有些工序时间短，我们会根据PECVD具体所属工艺长短来设计配备腔体的多少，有些膜需要很多层比较厚，所需时间长，需要腔体就多，单层较薄，需要时间短，腔体就少。我们主要做的是优化性价比并同时满足客户端的要求，二者共同决定腔体配置问题。补充一点，公司这个设备未来是要做PECVD的大部分工艺。

　　问：如果大部分覆盖的话，对应的存储、逻辑都会覆盖相应客户，请问明后年还会按照增加更多客户验证的进度发展吗？其次请问公司这项设备真正制造是以海外零部件为主吗？

　　答：我们的PECVD可以覆盖存储及逻辑客户，明年会推出多种膜的PECVD，在客户端进行验证。部分PECVD的核心零部件来自海外的供应链。

　　答：明年希望有多台设备和多个客户进行合作，用并行的方式对工艺进行并行验证，同时看与客户的合作进度。如果合作顺利的线%，半岛bd体育然后再继续发展。

　　问：PECVD研发团队情况能介绍一下吗？和track方面是否有联系，后续团队情况如何？

　　答：团队是公司早年到上海后培养的核心团队，过去做的清洗设备研究、镀铜设备研究等，和PECVD都是相通的。此外公司在PECVD方面还有一些原始团队储备，并且这个团队还加入了一些韩国团队和客户端团队。特别提一点，团队成员没有从竞争者过来的，这是为了确保专利不被污染。

　　问：请问公司研发费用比例是否像美股一样保持在16%-17%左右，还是会继续增加？

　　答：今年研发费用比例在14%-16%之间，未来还是保持这个比例，继续延续少花钱多干事的原则。研发是一个长期过程，研发比例是平稳的，但后面研发经费的绝对值会逐渐增加。并且公司研发费用使用较为节省，主要原因在于设备从研发到客户端验证时间越短，研发费用越低。减少研发费用的关键在于尽快让产品得到验证并进入市场。

　　问：请问国产零部件在整体的占比情况？请问哪些零部件是比较难实现国产化的？

　　答：主要是一些阀，半岛bd体育如真空阀、真空泵等，这些公司也在做一些应对工作。此外机械手也是重要的一块，目前这个部分是找韩国一家核心供应商做的。未来公司还会持续发展追求多样化，争取拥有自己的特点。核心的机械手请几家公司来做，一般的常用的机械手可以开放地选择供应商。

　　答：这个设备本身就是中韩两方一起研发的，因此韩国也是公司海外推广的第一个选定区域。并且海外客户和国内客户都很重要，所以希望这个设备推出后不光是在国内进行验证，也争取在国外进行验证，毕竟海外客户的技术节点相对更先进一点。我们也希望海外企业在早期的先进节点上能采用我们的技术，在后期进行量产的时候，公司设备能进入量产线。此外未来一些beta状态的设备也会同步推向海外，这会比较有难度，但公司的工艺和设备都有自己的特点，和国外大公司相比有技术差异化半岛bd体育，竞争力是有的。

　　答：目前部分采用进口零部件，同时国产零部件供应商也在开拓中，有些国产零部件也会逐步试用起来，相信在不远的将来公司核心零部件也会替换为国产产品，但这需要一个过程。一些要求不算太高的可以尝试采用国产零部件，当国产零部件还不能完全胜任要求时会优先采用进口的。

　　问：请问公司清洗设备和至纯科技603690）相比有哪些区别？优劣势？友商在清洗设备这块追的很紧。

　　答：我们一般不评价友商。盛美清洗设备经过多年打磨，现阶段在国内属于清洗设备的龙头地位，此外公司还在研发两款最新的技术，IPA和更核心的超临界CO2干燥技术。这个技术目前全世界只有三家公司拥有，公司还对这个专利进行了整体分析，认为每家专利的方向都不一样，公司有自己独立的专利。与此同时，超临界CO2干燥技术的研发已经到了快出成果的阶段了。这个技术的研发成果也代表了盛美的实力，从最初的概念产生到最后机器的完成都是存在差异化的，这些差异也让盛美有信心进入全球市场。

　　超临界CO2技术和TEBO超声波结合叫做3D清洗的黄金组合半岛bd体育，TEBO全世界只有我们公司能专门把深孔和一些较脆组织里面的颗粒洗出来再结合超临界CO2来干燥，这款设备运用范围也很广，也属于差异化设备。这些差异化产品希望未来不光是进入国内市场，也希望进入全球市场。现阶段公司产品分布按照统计来看，在这个细分市场上，覆盖了清洗设备的90%，未来也不止于这个范围。公司更希望用差异化技术服务全球客户，争取在国内市场占比50%左右。至于竞争对手，真正的竞争对手是盛美自己，公司要把自己的事情做好。

　　问：公司提到PECVD设备明年可能会做一些海外的拓展，请问这块会有没有一些目标市场，比如韩国有一些公司的研发团队，那是否会较快的在韩国实现客户端落地呢？

　　答：设备目标对应的全球客户，包括国内。现阶段这一台设备肯定是国内客户。韩国方面，公司在韩国有一些研发和生产，并且公司和海力士有过往渊源。公司也希望能靠差异化技术尽快进入它的核心工艺线，半岛bd体育但不能保证明年做到。其实全球的客户需要的都是最好的技术，如果公司差异化方案能让客户感兴趣，那就是有希望的。现阶段公司已经有专利的布局和设计的底蕴在，也希望能得到国际客户的认可，早日进入国际客户进行验证。

　　问：目标市场定位在中高端市场，请问从长远规划来看，设备的毛利率还是维持在45%左右的目标吗，还是说有更大的提升空间？

　　答：PECVD的价格不同，毛利也不同，现阶段还是在40%-45%之间，在未来随着技术的进一步提升和客户的认可，可能提升到45%-50%区间;

　　盛美半导体设备(上海)股份有限公司主要从事高端半导体设备的研发、生产和销售半岛bd体育。主要产品为半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等。2020年中国大陆半导体专用设备制造五强企业中，公司位列其中。